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实验室镀膜机

简要描述:实验室镀膜机具有外形美观、结构紧凑、占地面积小、自动化程度高、操作简单灵活、性能稳定、易维护的特点,尤其适用于实验室高校使用,客户可根据自身不同需求选配。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新日期:2025-10-21
  • 访  问  量:1469
  实验室镀膜机采用磁控溅射及阴极电弧相结合的镀膜技术,既满足了对膜层致密性要求,又满足了高离化率的要求;立式结构,工件卷绕系统垂直安装在真空室内;多室门设计,阴极安装在侧门上,可装六套阴极源或离子源,开门即可对靶进行维护或更换;设备可一次性进行工件表面处理及镀制多层膜,实现多层膜沉积。适用多种金属或化合物镀膜材料。
 
  实验室镀膜机具有外形美观、结构紧凑、占地面积小、自动化程度高、操作简单灵活、性能稳定、易维护的特点,尤其适用于实验室高校使用,客户可根据自身不同需求选配。
 

 


实验室镀膜机技术参数:

制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

1200W

最大输出电压电流

电压≤12V  电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa5分钟)   分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

1800

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  

预留真空接口

KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa  

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa

 
 

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